Las ventajas de los recubrimientos de desgaste PVD
|
|
Especificación
Cámara de vacío | φ1000 × H1100 | Espacio de ocupacion | L4000 × W1900 × H2300MM |
Presión máxima | 5.0 × 10 -4 Pa | Tasa de fuga | <10>-3 Pa.L / s |
Poder real | 80KW | Objetivo planar | 4 PIEZAS |
Tiempo de Bombeo | (desde la atmósfera hasta 4X10 -3 Pa) ≤ 20 minutos | Ciclo de recubrimiento | 5 ~ 8 horas / horno |
Plato giratorio de pieza de trabajo | Estructura de marco inferior | Hardware | Bomba molecular, fuente de alimentación de polarización |
Sistema de control | Manual + Semi-Auto + Full-Automatic o Torch Screen + PLC | ||
Observaciones | El horno, Outlook y otros parámetros se pueden personalizar de acuerdo con sus requisitos | ||
Producto recubierto
